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简述光刻机的演变和所面临的挑战

作者:admin 发布日期:2017-6-20 关注次数: 二维码分享

光刻机是诸多当代技能高度集成的产物, 这些技能是:物理学,光学,化学,质料科学,精密呆板,精密控制,工程学等等。

光刻机

在过往的20几年中,光刻机作为半导体制造业的紧张配置,经历了许多次革命。这些变革是陪伴着微处理惩罚器和DRAM特征尺寸的不停缩减产生的演变。 由于光刻的辨别率与曝光波长、物镜光阑孔径的干系为:辨别率=K1λ/NA以是光刻机的革命紧张产生在这样几个方面[2-8]:大NA非球面镜光学体系,短波长光源,辨别率增强技能(低沉K1因子),同步扫描工件台等。

在过往的20几年中,光刻机作为半导体制造业的紧张配置,经历了许多次革命。这些变革是陪伴着微处理惩罚器和DRAM特征尺寸的不停缩减产生的演变。 由于光刻的辨别率与曝光波长、物镜光阑孔径的干系为:辨别率=K1λ/NA以是光刻机的革命紧张产生在这样几个方面[2-8]:大NA非球面镜光学体系,短波长光源,辨别率增强技能(低沉K1因子),同步扫描工件台等。

光刻机螺纹隔爆结构有何规定

在环境实验箱维修中不经常拆卸的部分可以使用螺纹隔爆结构. 从氢气、乙炔一空气混合物的爆炸试验结果看,螺纹隔爆结构是最好的静止隔爆结构。例如:在矿用隔爆型移动变电站的高、低压接线盒中,套管与接线座、接线座与出线盒法兰之间均为螺纹隔爆结构.

采用螺纹隔爆结构时,必须保证同种零件间的互换性,还必须符合下列规定:

1.螺纹精度须不低于3级,螺距须不小于0.7mm;

2.螺纹的最少啮合扣数、最小拧入深度,须符合规定;

3.螺纹结构须有防止自行松脱的措施.

光刻机

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